[发明专利]基板电镀设备和基板电镀控制方法无效
| 申请号： | 201210465488.6 | 申请日： | 2012-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN103173825A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李载灿 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | C25D7/00 | 分类号： | C25D7/00;C25D17/00;C25D21/12;H05K3/18 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 陈潇潇;南毅宁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 于此公开了一种基板电镀设备，该设备包括：恒流装置，该恒流装置用于提供电力；阴极吊架，该阴极吊架包括多个固定基板的夹具、安装在多个夹具中的每个夹具上用于检测电流信息的霍尔电流传感器、以及与霍尔电流传感器连接的用于向外部无线传送电流信息的无线通信模块；电流轨道，安装了位于电镀槽之上的多个阴极吊架，并与所述恒流装置连接；以及阳极单元，该阳极单元从所述恒流装置延伸出来并且浸入电镀槽的电镀液中。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种基板电镀设备，该设备包括：恒流装置，该恒流装置用于提供电力；阴极吊架，该阴极吊架包括多个固定基板的夹具、安装在该多个夹具中的每个夹具上用于检测电流信息的霍尔电流传感器、以及与所述霍尔电流传感器连接的用于向外部无线传送所述电流信息的无线通信模块；电流轨道，安装了位于电镀槽之上的所述多个阴极吊架，并与所述恒流装置连接；以及阳极单元，该阳极单元从所述恒流装置延伸出来并且浸入所述电镀槽的电镀液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电机株式会社，未经三星电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210465488.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
