[发明专利]一种新的减薄研磨液无效
| 申请号： | 201210461968.5 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103805137A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 张恒 | 申请（专利权）人： | 张恒 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王澎 |
| 地址： | 264003 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新的减薄研磨液，其特征在于，所述研磨液由金刚石粉、氨水、丙酮、异丙醇及去离子水组成，其比例为：金刚石粉为0.3-2.2%，氨水为4-7%，丙酮为0.5-2%，异丙酮为0.5-1.5%，剩余为去离子水。本发明提供的一种新的减薄研磨液，能够有效的散发在减薄过程中产生的热量，提高了散热水平，从而减少芯片的翘曲，降低了裂片率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 | ||
【主权项】：
一种新的减薄研磨液，其特征在于，所述研磨液由金刚石粉、氨水、丙酮、异丙醇及去离子水组成，其比例为：金刚石粉为0.3‑2.2%，氨水为4‑7%，丙酮为0.5‑2%，异丙酮为0.5‑1.5%，剩余为去离子水。
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