[发明专利]一种新的减薄研磨液无效
申请号: | 201210461968.5 | 申请日: | 2012-11-15 |
公开(公告)号: | CN103805137A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 张恒 | 申请(专利权)人: | 张恒 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 王澎 |
地址: | 264003 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨 | ||
技术领域
本发明涉及一种新的减薄研磨液,属于光电子生产领域。
背景技术
在LED生产过程中,为了提高LED芯片的散热,往往需要将芯片进行减薄,而减薄研磨液能够直接影响着芯片的减薄效果,目前常用的减薄研磨液由于在研磨过程中散热性较差,因此会导致芯片的减薄不均匀,出现较大的翘曲,容易产生裂片,从而为后工序的生产产生了不必要的麻烦。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足,提供一种新的减薄研磨液。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种新的减薄研磨液,其特征在于,所述研磨液由金刚石粉、氨水、丙酮、异丙醇及去离子水组成,其比例为:金刚石粉为0.3-2.2%,氨水为4-7%,丙酮为0.5-2%,异丙酮为0.5-1.5%,剩余为去离子水。
本发明的有益效果是:本发明提供的一种新的减薄研磨液,能够有效的散发在减薄过程中产生的热量,提高了散热水平,从而减少芯片的翘曲,降低了裂片率。
具体实施方式
以下对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
一种新的减薄研磨液,其特征在于,所述研磨液由金刚石粉、氨水、丙 酮、异丙醇及去离子水组成,其比例为:金刚石粉为0.3-2.2%,氨水为4-7%,丙酮为0.5-2%,异丙酮为0.5-1.5%,剩余为去离子水。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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