[发明专利]一种晶片清洗装置

摘要

本发明属于IC及LED行业中晶片清洗技术领域，具体地说是一种晶片清洗装置。包括依次通过传送带连接的发片片盒、预清洗单元、滚轮组清洗机构、烘干系统及收片片盒，带清洗的晶片从发片片盒中通过传送带依次进入预清洗单元、滚轮组清洗机构、烘干系统及收片片盒中，进行预清洗、主清洗、烘干及收片的工艺过程。本发明同时对晶片的正反两面进行清洗，可有效解决因为二次清洗带来的污染，清洗完的晶片能直接供给下一道工序使用，减少了甩干环节，能有效的提高产品良率，减少浪费。

主权项

一种晶片清洗装置，其特征在于：包括依次通过传送带连接的发片片盒(1)、预清洗单元(3)、滚轮组清洗机构(6)、烘干系统(8)及收片片盒(10)，带清洗的晶片(9)从发片片盒(1)中通过传送带依次进入预清洗单元(3)、滚轮组清洗机构(6)、烘干系统(8)及收片片盒(10)中，进行预清洗、主清洗、烘干及收片的工艺过程。