[发明专利]悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器有效
| 申请号： | 201210444160.6 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103808961A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 王军波;商艳龙;陈德勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器。其中的一种悬臂件包括：支撑框架；第一质量块和第二质量块，左右对称悬空设置于支撑框架内；第一支撑梁，连接于第一质量块和第二质量块上部之间，其中部连接于外侧的支撑框架；第二支撑梁，与第二支撑梁组对称设置，连接于第一质量块和第二质量块下部之间，其中部连接于外侧的支撑框架；以及第一谐振梁，连接于第一质量块和第二质量块中部之间；其中，第一质量块和第二质量块的厚度大于第一支撑梁和第二支撑梁的厚度；第一支撑梁和第二支撑梁的厚度大于第一谐振梁的厚度。本发明中，悬臂件均能够有效提高了惯性力-轴向应力的转化效率，进而应用其的谐振式加速度传感器可大幅提高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂 应用 谐振 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种悬臂件，其特征在于，在衬底上通过多次刻蚀形成，包括：支撑框架；第一质量块和第二质量块，左右对称悬空设置于所述支撑框架内；第一支撑梁，连接于第一质量块和第二质量块上部之间，其中部连接于外侧的支撑框架；第二支撑梁，与所述第二支撑梁组对称设置，连接于第一质量块和第二质量块下部之间，其中部连接于外侧的支撑框架；以及第一谐振梁，连接于第一质量块和第二质量块中部之间；其中，所述第一质量块和第二质量块的厚度大于第一支撑梁和第二支撑梁的厚度；所述第一支撑梁和第二支撑梁的厚度大于所述第一谐振梁的厚度。
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