[发明专利]准分子激光器的自动温控系统有效
| 申请号： | 201210442930.3 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102931569A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;丁金滨;刘斌;周翊;王宇;赵江山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01S3/041;G05D23/19 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种准分子激光器的温控系统，所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块，第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关，所述温控系统包括用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统、用于对所述两个放电腔进行温度控制的腔体温控系统和用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统。本发明能够自动、准确的控制放电腔内气体温度，从而确保激光器具有较高的能量转换效率和能量稳定性，并且能大幅度降低热机时间，提高激光器使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 自动 温控 系统 | ||
【主权项】：
一种准分子激光器的温控系统，所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块，第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关，其特征在于，所述温控系统包括： 用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统； 用于对所述两个放电腔进行温度控制的腔体温控系统； 用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统。
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