[发明专利]准分子激光器的自动温控系统

权利要求书

1.一种准分子激光器的温控系统，所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块，第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关，其特征在于，所述温控系统包括： 

用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统； 

用于对所述两个放电腔进行温度控制的腔体温控系统； 

用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统。 

2.如权利要求1所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于， 

所述用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统包括用于对所述磁压缩器进行冷却的变压器油、提供冷却水的管道以及利用所述冷却水对所述变压器油进行冷却的油水换热器； 

所述用于对所述两个放电腔进行温度控制的腔体温控系统包括热交换器和热交换器的提供冷却水的管道； 

所述用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统包括用于提供冷却水的管道。 

3.如权利要求2所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统的提供冷却水的管道、所述腔体温控系统的提供冷却水的管道以及所述用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统的提供冷却水的管道作为支管道，其分别连接于主管道，该主管道与水冷机进行连接。 

4.如权利要求3所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述支管道的前端具有出水活门，其用于对支管道的通断进行控制。 

5.如权利要求3所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述支管道的末端具有止回阀，其用于防止水流回流。 

6.如权利要求2所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述腔体温控系统还包括温度传感器、控制器以及设置于所述提供冷却水的管道上的流量自动调节阀门； 

所述温度传感器用于实时监测腔体内的气体温度，并把温度数据传送给控制器； 

所述控制器用于根据所述温度数据并结合其内部存储的目标温度值进行逻辑运算，产生控制信号并将控制信号发送给流量自动调节阀门；所述流量自动调节阀门根据接收到的控制信号对冷却水流量进行自动调节。 

7.如权利要求1所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述两个放电腔还包括电加热器。 

8.如权利要求7所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述电加热器布置在腔壁的内部，用于加热腔壁，从而间接加热放电腔内的气体。 

9.如权利要求7所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述电加热器的表面包覆导热绝缘材料。 

10.如权利要求1-9中任一项所述的准分子激光器的温控系统，其特征在于，所述两个放电腔分别为主振荡腔和功率放大腔，或者主振荡腔和功率振荡腔，或者主振荡腔和基于功率放大腔的环形腔。