[发明专利]涂布装置

摘要

本发明提供一种涂布装置，即使基板输送路径向一个方向连续延伸也能够容易地更换管头部，该装置包括：向一个方向延伸的基板输送路径；在使基板以与基板输送路径面对的状态下沿基板输送路径的延伸方向输送基板的基板输送部；管头部以与基板输送路径相对而置的状态被固定设置的涂布单元；且进一步包括用于载置管头部、并能够向与安装在涂布单元的管头部相对而置的管头接收位置和更换管头部的管头更换位置移动的管头移载单元；其中，基板输送路径包括作业空间形成部，通过该作业空间形成部形成去除一部分基板输送路径的用于更换管头部的作业空间，管头更换位置设定在作业空间形成部中能够进行管头部的更换作业的范围内。

主权项

一种涂布装置，包括：基板输送路径，向一个方向延伸；基板输送部，在所述基板输送路径上以面对基板的状态将基板沿着所述基板输送路径延伸的方向输送；涂布单元，其中，排出涂布液的管头部以能够装卸的方式被支撑，且所述管头部以与所述基板输送路径相对而置的状态被固定设置；并且，通过所述基板输送部，一边将所述基板输送路径上的基板相对于所述涂布单元移动，一边从所述管头部排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，其特征在于，该装置还包括：管头移载单元，该管头移载单元用于载置所述管头部，并能够向与安装在涂布单元的管头部相对而置的管头接收位置和更换所述管头部的管头更换位置移动；其中，所述基板输送路径包括作业空间形成部，通过该作业空间形成部形成去除一部分基板输送路径的用于更换所述管头部的作业空间，所述管头更换位置设定在所述作业空间形成部中能够进行管头部的更换作业的范围内。