[发明专利]涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及在基板上形成涂布膜的涂布装置。

背景技术

液晶显示器或者等离子显示器等平板显示器上使用在玻璃等基板上涂布了抗蚀剂液等涂布液的基板(称为涂布基板)。该涂布基板通过将涂布液均匀地涂布的涂布装置形成。这种涂布装置包括向一个方向延伸的基板输送路径、输送基板输送路径上的基板的基板输送部和排出涂布液的涂布单元，且通过从涂布单元的管头部排出涂布液的同时使基板和涂布单元相对移动，由此在基板上形成涂布膜。具体而言，如在专利文献1中记载的一样，将被输送过来的基板停止在基板输送路径上，然后边从管头部排出涂布液边移动涂布单元，由此在基板上形成涂布膜。另外，涂布基板达到规定数量时或者用不同种类的涂布液形成涂布膜时，涂布单元的管头部被更换。更换管头部时，从便于作业的方面考虑，将涂布单元移动到基板输送路径的端部附近，然后作业人员从涂布单元卸下管头部后，用专用移栽机以悬挂的方式搬运管头部，由此完成管头部的更换。

专利文献

专利文献1特开2010-034309号公报

发明内容

但是，如上所述，进行管头部的更换作业仅限于在涂布装置的上游侧或下游侧存在进行管头部更换作业的空间的情况。即，只要在涂布装置的上游侧或者下游侧存在机械手等输送装置，就能够进行上述的管头部的更换作业。

近年来，涂布装置和涂布装置的上游侧以及下游侧的处理装置(例如干燥装置等)连接在基板输送路径上，在基板输送路径上被输送的基板能够被这些装置连续进行处理。因此，在涂布装置的上游侧或者下游侧上不存在作为作业空间的端部，进行管头部的更换作业变得困难。

基于以上问题，本发明的目的在于提供一种涂布装置，即使在基板输送路径向一个方向连续地延伸的情况下，也能够容易地进行管头部的更换作业。

为了解决上述课题，本发明的涂布装置包括：基板输送路径，向一个方向延伸；基板输送部，在所述基板输送路径上以面对基板的状态将基板沿着基板输送路径延伸的方向输送；涂布单元，其中，排出涂布液的管头部以能够装卸的方式被支撑，且所述管头部以与所述基板输送路径相对而置的状态被固定设置；并且，通过所述基板输送部，一边将所述基板输送路径上的基板相对于所述涂布单元移动，一边从所述管头部排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜；其特征在于，该装置还包括：管头移载单元，该管头移载单元用于载置所述管头部，并能够向与安装在涂布单元的管头部相对而置的管头接收位置和更换所述管头部的管头更换位置移动；其中，所述基板输送路径包括作业空间形成部，通过该作业空间形成部形成去除一部分基板输送路径的用于更换所述管头部的作业空间，所述管头更换位置设定在所述作业空间形成部中能够进行管头部的更换作业的范围内。

根据所述涂布装置，由于在基板输送路径上设置有作业空间形成部，因此，即使在基板输送路径向一个方向连续地形成的情况下，也能够容易进行管头部的更换作业。即，由于在基板输送路径上设置有作业空间形成部，因此通过去除一部分基板输送路径来形成用于更换管头部的作业空间。另外，管头部更换位置设定在作业空间形成部中能够进行管头部的更换作业的范围内，通过从涂布单元卸下的管头部被搭载在管头移载单元上，并被搬运到管头更换位置，由此，能够在所形成的作业空间进行管头部的更换作业。因此，即使基板输送路径向一个方向连续地形成的情况下，也能够容易地进行管头部的更换作业。

另外，也可以是，所述基板输送路径包括与所述涂布单元相对而置的主输送路径，所述作业空间形成部设置在除了该主输送路径和当结束对基板的涂布时基板所占用的涂布结束区域之外的区域上。

通过这样的构成，即使在基板输送路径上设置作业空间形成部的情况下，也能够抑制涂布精度受影响的情况发生。即，为了抑制涂布不匀的影响，基板输送路径尽量平坦地形成。但是，如果设置作业空间形成部，则基板输送路径的一部分可以被去除，因此，可能使基板输送路径的平坦度受损。结果，如果在作业空间形成部和基板重叠的状态下进行涂布动作，则容易出现涂布不匀或者干燥不匀的情况。因此，通过在与涂布单元相对而置的主输送路径以及涂布结束区域不设置作业空间形成部，能够避免在涂布动作中基板和作业空间形成部重叠的状态。因此，对于基板，能够在平坦的基板输送路径上进行涂布动作，由此能够抑制涂布不匀或者干燥不匀的发生。

另外，也可以是，所述作业空间形成部设置在除了开始对基板进行涂布时基板所占用的涂布开始区域和所述涂布结束区域之外的区域上。