[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，包括：

基板输送路径，向一个方向延伸；

基板输送部，在所述基板输送路径上以面对基板的状态将基板沿着所述基板输送路径延伸的方向输送；

涂布单元，其中，排出涂布液的管头部以能够装卸的方式被支撑，且所述管头部以与所述基板输送路径相对而置的状态被固定设置；

并且，通过所述基板输送部，一边将所述基板输送路径上的基板相对于所述涂布单元移动，一边从所述管头部排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，其特征在于，该装置还包括：

管头移载单元，该管头移载单元用于载置所述管头部，并能够向与安装在涂布单元的管头部相对而置的管头接收位置和更换所述管头部的管头更换位置移动；

其中，所述基板输送路径包括作业空间形成部，通过该作业空间形成部形成去除一部分基板输送路径的用于更换所述管头部的作业空间，所述管头更换位置设定在所述作业空间形成部中能够进行管头部的更换作业的范围内。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述基板输送路径包括与所述涂布单元相对而置的主输送路径，所述作业空间形成部设置在除了该主输送路径和当结束对基板的涂布作业时基板所占用的涂布结束区域之外的区域上。

3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，所述作业空间形成部设置在除了开始对基板进行涂布作业时基板所占用的涂布开始区域和所述涂布结束区域之外的区域上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述作业空间形成部的作业空间是通过所述基板输送路径的一部分被折叠而形成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述管头更换位置设定在所述作业空间形成部上。