[发明专利]一种缺陷检测系统及方法有效
| 申请号： | 201210432399.1 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102937594A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟;王恺 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种缺陷检测系统及方法。本发明提出一种缺陷检测系统及方法，通过将每个工艺设备上进行缺陷数据处理的服务器整合为一个较高性能的数据库集中服务器，从而大大提高了缺陷信息数据处理的速度，芯片在进行缺陷检测后即可立即根据缺陷情况进入相应的下一步工艺，有效的降低了芯片在缺陷检测设备中的等待时间，大大的提高了缺陷检测工艺的效率的同时，还降低了晶圆产生新的缺陷的几率，提高了产品的良率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检测系统，应用于芯片生产线上，包括多个工艺设备，每个所述工艺设备上均设置有检测装置，其特征在于，还包括一数据库集中服务器，每个所述检测装置均与所述数据库集中服务器连接。
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