[发明专利]沉积装置及用其制造有机发光二极管显示器的方法有效
| 申请号： | 201210428488.9 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103255370A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 李相雨 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/54;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种沉积装置及用其制造有机发光二极管显示器的方法。一种沉积装置，其包括沉积源、角度控制部以及与角度控制部联接的角度控制部驱动器，沉积源用于排放待沉积在衬底上的沉积材料，角度控制部至少部分处于沉积材料的排放路径中用于控制沉积材料的排放角度，角度控制部驱动器用于使角度控制部在沉积材料的排放方向上移动以控制排放角度。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 制造 有机 发光二极管 显示器 方法 | ||
【主权项】：
沉积装置，包括：沉积源，用于排放待沉积在衬底上的沉积材料；角度控制部，至少部分处于所述沉积材料的排放路径中，所述角度控制部用于控制所述沉积材料的排放角度；以及角度控制部驱动器，与所述角度控制部联接，所述角度控制部驱动器用于使所述角度控制部在所述沉积材料的排放方向上移动以控制所述排放角度。
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