[发明专利]一种高精度纳米间距检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201210428399.4 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102927923A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 鱼卫星;王二伟;王成;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种高精度纳米间距检测装置及检测方法，属于纳米光刻技术领域，为解决现有技术对纳米间距测量精度低的问题，本发明中激光器发出的光线依次经过扩束装置、第一分束器、第二分束器、透镜、透光镜和反射镜；光经过第一分光器时部分光被反射，第一检偏器接收第一分束器反射出来的光线，光线经过第一检偏器后被第一光电探测器接收，第一光电探测器将采集到的信息传给计算机；反射镜反射回来的光线入射到第二分束器，SPR传感器接收第二分束器反射出来的光线，光线经过SPR传感器后入射到第二检偏器上，光线经过第二检偏器后被第二光电接收器接收，第二光电接收器将采集到的信息传给计算机，由计算机得出反射镜的位移量，实现高精度纳米间距检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 纳米 间距 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种高精度纳米间距检测装置，其特征是，激光器（1）、扩束装置（2）、第一分束器（3）、第二分束器（4）、透镜（5）、透光镜（6）、平面反射镜（7）和PNPS（8）从左到右共轴放置，PNPS（8）与反射镜（7）固定在一起，透光镜（6）位于透镜（5）的后焦面上，调整激光器（1）发出的光线平行入射到透镜（5）和反射镜（7）上；激光器（1）发出的光线依次经过扩束装置（2）、第一分束器（3）、第二分束器（4）、透镜（5）、透光镜（6）和反射镜（7）；光经过第一分光器（3）时部分光被反射，第一检偏器（9）接收第一分束器（3）反射出来的光线，光线经过第一检偏器（9）后被第一光电探测器（10）接收，第一光电探测器（10）将采集到的信息传给计算机（14）；反射镜（7）反射回来的光线入射到第二分束器（4）， SPR传感器（11）接收第二分束器（4）反射出来的光线，光线经过SPR传感器（11）后入射到第二检偏器（12）上，光线经过第二检偏器（12）后被第二光电接收器（13）接收，第二光电接收器（13）将采集到的信息传给计算机（14）。
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