[发明专利]一种高精度纳米间距检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种高精度纳米间距检测装置，其特征是，激光器（1）、扩束装置（2）、第一分束器（3）、第二分束器（4）、透镜（5）、透光镜（6）、平面反射镜（7）和PNPS（8）从左到右共轴放置，PNPS（8）与反射镜（7）固定在一起，透光镜（6）位于透镜（5）的后焦面上，调整激光器（1）发出的光线平行入射到透镜（5）和反射镜（7）上；激光器（1）发出的光线依次经过扩束装置（2）、第一分束器（3）、第二分束器（4）、透镜（5）、透光镜（6）和反射镜（7）；光经过第一分光器（3）时部分光被反射，第一检偏器（9）接收第一分束器（3）反射出来的光线，光线经过第一检偏器（9）后被第一光电探测器（10）接收，第一光电探测器（10）将采集到的信息传给计算机（14）；反射镜（7）反射回来的光线入射到第二分束器（4）， SPR传感器（11）接收第二分束器（4）反射出来的光线，光线经过SPR传感器（11）后入射到第二检偏器（12）上，光线经过第二检偏器（12）后被第二光电接收器（13）接收，第二光电接收器（13）将采集到的信息传给计算机（14）。

2.基于权利要求1所述一种高精度纳米间距检测装置的检测方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤一：调整检测装置，使光束平行入射到透镜（5）上；

步骤二：通过PNPS（8）驱动、调整平面反射镜（7）的位置，使其位于透镜（5）后焦面附近； 

步骤三：调整第二检偏器（12）使其透过方向平行于X轴，然后调整SPR传感器（11），直至SPR传感器（11）反射出的P分量光束光强达到最小；

步骤四：调整第二检偏器（12）使其透过方向与X轴成10°角，然后由PNPS（8）驱动平面反射镜（7），通过计算机（14）监测测试光路和参考光路的位相差值Δφ=φ_te-φ_re，直至其为一定值，此时透光镜（6）与反射镜（7）重合，两者都位于透镜（5）后焦面上；

步骤五：由PNPS（8）驱动反射镜（7）产生微小位移，同时计算机（14）实时记录位相差Δφ=φ_te-φ_re的值；

步骤六：由计算机（14）分析处理实验数据得出反射镜（7）的位移量。