[发明专利]一种新的清洗工艺无效
| 申请号： | 201210423782.0 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103794682A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王红亚 | 申请（专利权）人： | 王红亚 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新的清洗工艺，所述工艺步骤如下：将剥离完的晶片放入花篮，按照次序依次摆放；将花篮放入1#有机槽内（3000ml烧杯，负胶剥离液，90℃），开始计时，15min后取出花篮放入丙酮中漂3min，药剂每300片更换一次；将上述花篮放入2#有机槽内（3000ml烧杯，丙酮，75℃），开始计时，5min后取出花篮放入乙醇中，药剂每200片更换一次；将花篮放入3#有机槽内（3000ml烧杯，乙醇，80℃），开始计时，5min后取出花篮，药剂每200片更换一次；甩干：设定甩干机条件：冲水时间30sec；甩干转速为1800转；时间为180sec，将芯片从花篮按顺序倒入卡塞中放进甩干机，进行甩干。本发明对清洗液及清洗时间进行了细化，能够有效的清洗芯片上的剥离液，从而提高了芯片的漏电良率及发光亮度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种新的清洗工艺，其特征在于，所述工艺步骤如下：（1）将剥离完的晶片放入花篮，按照次序依次摆放；（2）将花篮放入1#有机槽内（3000ml烧杯，负胶剥离液，90℃），开始计时，15min后取出花篮放入丙酮中漂3min，药剂每300片更换一次；（3）将上述花篮放入2#有机槽内（3000ml烧杯，丙酮，75℃），开始计时，5min后取出花篮放入乙醇中，药剂每200片更换一次；（4）将花篮放入3#有机槽内（3000ml烧杯，乙醇，80℃），开始计时，5min后取出花篮，药剂每200片更换一次；（5）甩干：设定甩干机条件：冲水时间30sec ；甩干转速为1800转；时间为180sec，将芯片从花篮按顺序倒入卡塞中放进甩干机，进行甩干。
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