[发明专利]一种新的清洗工艺无效
申请号: | 201210423782.0 | 申请日: | 2012-10-30 |
公开(公告)号: | CN103794682A | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 王红亚 | 申请(专利权)人: | 王红亚 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;B08B3/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 264006 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及一种新的清洗工艺,属于LED生产领域。
背景技术
LED剥离完后需要对LED芯片进行清洗,以便去除芯片上的剥离液,剥离液是否能够去除干净,直接影响着LED芯片的漏电良率及发光亮度,因此剥离完后的清洗,在LED生产过程中显得极为重要。
发明内容
本发明针对不足,提供一种新的清洗工艺。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种新的清洗工艺,其特征在于,所述工艺步骤如下:
(1)将剥离完的晶片放入花篮,按照次序依次摆放;
(2)将花篮放入1#有机槽内(3000ml烧杯,负胶剥离液,90℃),开始计时,15min后取出花篮放入丙酮中漂3min,药剂每300片更换一次;
(3)将上述花篮放入2#有机槽内(3000ml烧杯,丙酮,75℃),开始计时,5min后取出花篮放入乙醇中,药剂每200片更换一次;
(4)将花篮放入3#有机槽内(3000ml烧杯,乙醇,80℃),开始计时,5min后取出花篮,药剂每200片更换一次;
(5)甩干:设定甩干机条件:冲水时间30sec ;甩干转速为1800转;时间为180sec,将芯片从花篮按顺序倒入卡塞中放进甩干机,进行甩干。
本发明的有益效果是:本发明对清洗液及清洗时间进行了细化,能够有效的清洗芯片上的剥离液,从而提高了芯片的漏电良率及发光亮度。
具体实施方式
以下对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
一种新的清洗工艺,其特征在于,所述工艺步骤如下:
(1)将剥离完的晶片放入花篮,按照次序依次摆放;
(2)将花篮放入1#有机槽内(3000ml烧杯,负胶剥离液,90℃),开始计时,15min后取出花篮放入丙酮中漂3min,药剂每300片更换一次;
(3)将上述花篮放入2#有机槽内(3000ml烧杯,丙酮,75℃),开始计时,5min后取出花篮放入乙醇中,药剂每200片更换一次;
(4)将花篮放入3#有机槽内(3000ml烧杯,乙醇,80℃),开始计时,5min后取出花篮,药剂每200片更换一次;
(5)甩干:设定甩干机条件:冲水时间30sec ;甩干转速为1800转;时间为180sec,将芯片从花篮按顺序倒入卡塞中放进甩干机,进行甩干。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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