[发明专利]吸附垫片、研磨装置及吸附垫片的制造方法有效
| 申请号： | 201210413000.5 | 申请日： | 2012-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103769996A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;姚伊蓬;王良光;宋欣如;吴文杰 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/00;B29C59/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种吸附垫片、研磨装置及吸附垫片的制造方法。吸附垫片包含一吸附层。该吸附层包含用以吸附一基材的一吸附表面。该吸附表面包含一第一吸附区域及一第二吸附区域，其中该第一吸附区域的吸附力大于该第二吸附区域的吸附力。根据本发明的吸附垫片通过不同吸附区域，使研磨完毕便于卸除该基材，减少基材因卸除而破裂、减少卸除时间及降低卸除困难度。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 垫片 研磨 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种吸附垫片，其包含吸附层，该吸附层包含吸附表面，用以吸附一基材，其中该吸附表面包含：第一吸附区域及第二吸附区域，其中该第一吸附区域的吸附力大于该第二吸附区域的吸附力。
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