[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜预制层及其制备方法有效
申请号: | 201210405055.1 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN103779433A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 郭伟民;黄迎春;廖成;曾波明;刘焕明 | 申请(专利权)人: | 中物院成都科学技术发展中心 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/18 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 王芸;刘雪莲 |
地址: | 610031 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜预制层,其化学式为CuInaGabSec,其中a的范围是0.01~5,b的范围是0.01~5,c的范围是0.01~10,并且铜原子比例占总原子数量的15%以下。本发明提供的铜铟镓硒薄膜预制层中硒化铜晶体减少,并且放置四小时后硒化铜晶体不生长。通过后续处理得到的铜铟镓硒薄膜质量良好。本发明还提供了一种制备铜铟镓硒薄膜预制层的方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 铜铟镓硒 薄膜 预制 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种铜铟镓硒薄膜预制层,化学式为CuInaGabSec,其特征在于,所述a的范围是0.01~5,b的范围是0.01~5,c的范围是0.01~10,并且铜在铜铟镓硒薄膜预制层中的原子比例占总原子数量的15%以下。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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