[发明专利]喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置

摘要

本申请发明是一种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置。本发明的课题在于消除处理液等化学药品的无谓消耗，且缩短工作时间，提高生产性。该喷嘴保养装置包括：擦拭体(11)，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部(11a)，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持喷嘴前端(3a)，并且所述擦拭体(11)设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；擦拭体移动机构(13、14、15)，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及擦拭体旋转机构(17、18)，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。

主权项

一种喷嘴保养装置，其特征在于：对从形成在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口喷出的处理液所附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理；且包括：擦拭体，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持所述喷嘴前端，并且所述擦拭体设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；擦拭体移动机构，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及擦拭体旋转机构，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。