[发明专利]喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置，本发明尤其涉及一种对在长条状的喷嘴上形成着喷出口，且从所述喷出口喷出的处理液附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理的喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置。

背景技术

例如，在FPD(Flat panel display，平板显示器)的制造中，一直进行一种利用所谓的光微影(photolithography)步骤而形成电路图案(circuit pattern)的操作。

在该光微影步骤中，于在玻璃基板等被处理基板上成膜特定的膜之后，涂布作为处理液的光致抗蚀剂(photoresist)(以下，称为光阻剂)而形成光阻膜(resist film)(感光膜)。然后，与电路图案对应地曝光所述光阻膜，使其得到显像处理，而形成图案。

在此种光微影步骤中，作为在被处理基板上涂布光阻液而形成光阻膜的方法，有从狭缝状的喷嘴喷出口呈带状地喷出光阻液，并将光阻液涂布在基板上的方法。

在使用该方法的以往的光阻剂涂布装置中，例如，如图12所示利用喷嘴移动机构51使喷嘴52相对于载置在工作台50上的基板G相对地移动。此时，从狭缝状的喷出口52a喷出光阻液R，由此在基板G上形成光阻膜。

可是，对于所述喷嘴52而言，狭缝状的喷出口52a是由微小的间隙所形成的，因此如果在等待中不实施喷嘴前端的保养处理，则会因光阻液R的干燥等而产生堵塞。

因此，以往是如图所示，设置一种加注(priming)处理装置54，具有用来将附着在喷嘴前端的光阻液R均一化(称为加注处理，)的旋转自由的加注辊(priming roller)53。

在该加注处理装置54的加注处理中，喷嘴52利用喷嘴移动机构51移动到加注辊53的上方，并朝向利用辊旋转控制机构55而旋转驱动的加注辊53的表面，从喷出口52a喷出光阻液R。由此，附着在喷嘴前端的光阻液R的状态沿着喷嘴长度方向而均一化。

另外，对于所述加注处理装置54而言，为了除去附着在加注辊53的辊面上的光阻液R，而具备可利用如图所示的进退驱动部56而自由进退的刮刷器57、及用来将加注辊53的下部(为了溶解光阻剂)浸渍在清洗液58(例如稀释液)中的清洗液58的储留槽59等。

也就是说，如果一次加注处理结束，那么会发生如下操作：使加注辊53连续旋转，使刮刷器57抵接在辊面上而将光阻液R刮落，使加注辊53的下部浸渍在稀释液58中，而清洗辊面整体。

此外，关于此种加注处理装置在专利文献1中有所公开。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005-252045号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

然而，对于所述加注处理而言，必须对着旋转的加注辊53的辊面，喷出大量光阻液R，从而存在光阻液R的(无谓)消耗量过多的课题。

另外，如上所述，对于加注处理后的加注辊53的清洗处理而言，必需大量的储留在储留槽59中的清洗液58，因此存在成本高涨的课题。

进一步来说，存在加注处理及加注辊53的清洗所用的时间较长，从而工作时间变长导致生产性下降的课题。

本发明是鉴于如上所述的以往技术的问题点研究而成，提供一种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置，所述喷嘴保养装置对在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上形成着喷出口，且从所述喷出口喷出的处理液附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理，可消除处理液等化学药品的无谓消耗，且可缩短工作时间从而提高生产性。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述课题，本发明的喷嘴保养装置的特征在于：对从形成在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口喷出的处理液所附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理；且包括：擦拭体，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持所述喷嘴前端，并且该擦拭体设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；擦拭体移动机构，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及擦拭体旋转机构，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。

此外，理想的是所述擦拭体形成为在圆柱状体或圆盘状体的周面上沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地设置着齿间迹的齿轮状，且所述擦拭部包含形成在相邻的一对齿之间的沟槽部。