[发明专利]喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置

权利要求书

1.一种喷嘴保养装置，其特征在于：对从形成在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口喷出的处理液所附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理；且包括：

擦拭体，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持所述喷嘴前端，并且所述擦拭体设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；

擦拭体移动机构，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及

擦拭体旋转机构，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。

2.根据权利要求1所述的喷嘴保养装置，其特征在于：

所述擦拭体形成为在圆柱状体或圆盘状体的周面上沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地设置着齿间迹的齿轮状；

所述擦拭部包含形成在相邻的一对齿之间的沟槽部。

3.根据权利要求2所述的喷嘴保养装置，其特征在于：

所述沟槽部的底部相对于所述形成为齿轮状的擦拭体的轴方向而倾斜。

4.根据权利要求2所述的喷嘴保养装置，其特征在于：

所述擦拭体是由在同一轴上相连而排列的多个齿轮所构成；

所述多个齿轮的面朝所述特定方向的各沟槽部通过擦拭所述喷嘴前端的任一面，使所述喷嘴前端的所有面都得到擦拭。

5.根据权利要求3所述的喷嘴保养装置，其特征在于：

所述擦拭体是由在同一轴上相连而排列的多个齿轮所构成；

所述多个齿轮的面朝所述特定方向的各沟槽部通过擦拭所述喷嘴前端的任一面，使所述喷嘴前端的所有面都得到擦拭。

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6.根据权利要求1所述的喷嘴保养装置，其特征在于：

所述擦拭体形成为具有可挠性的圆柱状；

所述擦拭部是由其周面所形成。

7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的喷嘴保养装置，其特征在于：

具备清洗机构，该清洗机构对已擦拭所述喷嘴前端的所述擦拭部喷涂清洗液。

8.一种涂布处理装置，其特征在于：使用根据权利要求1至7中任一权利要求所述的喷嘴保养装置；且包括：

工作台，载置被处理基板；

喷嘴保养装置，设置在所述工作台的侧方；

所述喷嘴，在载置于所述工作台的被处理基板的上方，沿着基板面向特定方向移动，并且从形成在沿所述基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口向所述基板面喷出处理液；以及

喷嘴移动机构，使所述喷嘴在所述工作台上与所述喷嘴保养装置之间移动。

9.根据权利要求8所述的涂布处理装置，其特征在于：

所述喷嘴保养装置沿着所述喷嘴的移动方向，分别配置在所述工作台的两侧侧方。