[发明专利]一种移动式空气化学过滤装置无效
| 申请号： | 201210401269.1 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103768905A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 程一刚;孙中官;钱勇 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 贺小明 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种移动式空气化学过滤装置，其特征在于，包括移动平台、化学过滤器、风机和电源，其中，所述风机设置在所述移动平台上放置电子元器件部位的上方；所述化学过滤器设置在所述风机上方；空气经过所述化学过滤器净化后由风机向下吹送，为放置于移动平台上的电子元器件提供净化后的空气；所述电源为风机供电。本发明通过改进化学过滤器的布置，对特定产品进行有效防护，以保证电子元器件，如晶圆、光罩等，在传送过程中能得到全面的防护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动式 空气 化学 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种移动式空气化学过滤装置，其特征在于，包括移动平台、化学过滤器、风机和电源，其中所述风机设置在所述移动平台上放置电子元器件部位的上方；所述化学过滤器设置在所述风机上方；空气经过所述化学过滤器净化后由风机向下吹送，为放置于移动平台上的电子元器件提供净化后的空气；所述电源为风机供电。
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