[发明专利]一种移动式空气化学过滤装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子半导体制造领域及其它使用化学过滤装置的领域，具体地，涉及半导体晶圆制造中一种用于消除空气化学污染的移动式空气化学过滤装置。

背景技术

电子技术飞速发展的今天，制造技术日新月异。随着消费者对电子产品的短小轻薄要求的越来越高，半导体集成电路的线径已经到达纳米级。如何在更小尺寸上实现尽可能多的功能，成为半导体行业竞争的焦点。然而越来越小的集成电路线径也意味着器件对环境要求越来越敏感。除了常规的温度、湿度、粒子外，空气微污染日益成为影响集成电路良率的重要因素。空气微污染包括无机(酸/碱性气体)、有机气体(VOC)等。据有关资料显示，在0.2微米线径或更先进的晶圆工艺中，ppb级的空气微污染即可造成晶圆或光罩腐蚀、模糊等异常，造成损失很大，仅一片光罩的费用就达数十万元。

针对上述空气微污染防护提出的更高要求，目前业界采用的是在关键区域安装化学过滤装置，以去除空气中的无机，有机微污染。该装置通常安装于空气的循环系统中，如天花板，回风管井等。该装置可保护相应区域环境将空气微污染降到规定浓度以下。但该装置需要在整个回风区域安装，成本很高；同时由于只在部分区域安装，若需保护的电子元器件，如晶圆、光罩等，在不同关键区域之间传送时，往往得不到有效的防护，增加产品潜在的失效风险。

发明内容

针对现有技术的弊端，本发明的目的是提出一种移动式空气化学过滤装置，包括移动平台、化学过滤器、风机和电源，其中

所述风机设置在所述移动平台上放置电子元器件部位的上方；

所述化学过滤器设置在所述风机上方；

空气经过所述化学过滤器净化后由风机向下吹送，为放置于移动平台上的电子元器件提供净化后的空气；

所述电源为风机供电。

进一步地，所述电源为不间断电源。

进一步地，所述移动平台为手推车。

本发明通过改进化学过滤器的布置，对特定产品进行有效防护，以保证电子元器件，如晶圆、光罩等，在传送过程中能得到全面的防护。

附图说明

图1为根据本发明的优选实施例的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的实施例仅用于解释本发明，而不是用于限制本发明。

如图1所示，移动式空气化学过滤装置，包括移动平台1、化学过滤器3、风机4和电源5，其中

所述风机4设置在所述移动平台1上放置电子元器件2部位的上方；

所述化学过滤器3设置在所述风机4上方；

空气经过所述化学过滤器3净化后由风机4向下吹送，为放置于移动平台1上的电子元器件2提供净化后的空气；

所述电源5为风机4供电。

由于风机驱动空气向下流动，使电子元器件周围环境充满净化后的空气，从而达到电子元器件避免空气微污染的目的。

所述电子元器件包括晶圆、光罩或其他对空气微污染敏感的电子元器件。

所述电源5优选为不间断电源，以便为敏感电子元器件持续提供净化后的空气。

在优选实施例中，如图1所示，所述移动平台1为手推车的一部分，操作人员可以推动手推车，进行产品运输。

本发明通过改进化学过滤器的布置，对特定产品进行有效防护，以保证电子元器件，如晶圆、光罩等，在传送过程中能得到全面的防护。

上述仅为本发明的较佳实施例，当然，根据实际需要和进一步的探索还可以有其它实施方式。但是，应该明确的是，基于类似上述的或者其它没有表述出的具有相同构思的实施方式的变换，均应涵盖在本发明权利要求的保护范围之中。