[发明专利]读取晶圆标识的方法及晶圆标识读取装置有效
| 申请号： | 201210398528.X | 申请日： | 2012-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103778421B | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 朱俊灏;徐俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/20 | 分类号： | G06K9/20;G03B15/03 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 牛峥,王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆标识读取装置，该装置包括晶圆标识读取器、驱动马达和光学处理器；晶圆标识读取器包括垂直于水平面设置的照相机，以及与照相机成夹角移动的光源；所述照相机用于扫描晶圆标识；所述光源用于在与照相机呈预定角度下提供光强；驱动马达，分别与光源和光学处理器连接，用于根据光学处理器的命令信号调节光源与照相机之间的夹角；光学处理器，与光源连接，用于控制逐渐增加光源与照相机之间的夹角；还用于读取光源与照相机之间成不同的夹角时的光强，并将所述光强反馈给光源。本发明还公开了一种读取晶圆标识的方法。采用本发明能够快速准确读取晶圆标识。 | ||
| 搜索关键词： | 读取 标识 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆标识读取装置，该装置包括：晶圆标识读取器、驱动马达和光学处理器；晶圆标识读取器包括垂直于水平面设置的照相机，以及与照相机成夹角移动的光源；所述照相机用于扫描晶圆标识；所述光源用于在与照相机呈预定角度下提供光强；驱动马达，分别与光源和光学处理器连接，用于根据光学处理器的命令信号调节光源与照相机之间的夹角；光学处理器，与光源连接，用于控制逐渐增加光源与照相机之间的夹角；还用于读取光源与照相机之间成不同的夹角时的光强，并将所述光强反馈给光源。
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