[发明专利]读取晶圆标识的方法及晶圆标识读取装置

权利要求书

1.一种晶圆标识读取装置，该装置包括：晶圆标识读取器、驱动马达和光学处理器；

晶圆标识读取器包括垂直于水平面设置的照相机，以及与照相机成夹角移动的光源；所述照相机用于扫描晶圆标识；所述光源用于在与照相机呈预定角度下提供光强；

驱动马达，分别与光源和光学处理器连接，用于根据光学处理器的命令信号调节光源与照相机之间的夹角；

光学处理器，与光源连接，用于控制逐渐增加光源与照相机之间的夹角；还用于读取光源与照相机之间成不同的夹角时的光强，并将所述光强反馈给光源。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述照相机和光源在初始状态下夹角θ为0，θ在0～90度之间变化。

3.一种读取晶圆标识的方法，预先将需要识别的晶圆承载在晶圆标识ID读取器的下方，并确定晶圆标识的位置与晶圆标识读取器对准，该方法还包括：

在晶圆标识读取器的光源与照相机之间夹角为0时，由光源在0度角下提供光强I(θ)，θ＝0，θ为光源与照相机之间的夹角，晶圆标识读取器的照相机扫描晶圆ID的第一个字母，如果照相机无法识别，则逐渐增加光源与照相机之间的夹角，由光源在该夹角下提供光强，直到照相机识别该晶圆ID的第一个字母，然后读取该晶圆ID；

该方法进一步包括：对于预定产品晶圆，在照相机识别晶圆ID的第一个字母获得通过的情况下，确定公式A＜I(θ+1)/I(θ)＜B中θ允许的范围值，A和B分别为定值；再次处理该产品晶圆时，将光源参数设置为符合公式的I(θ)。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，光源在预定夹角下提供的光强由光学处理器读取。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，光学处理器输出命令信号指示驱动马达逐渐增加光源与照相机之间的夹角。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，晶圆边缘有一凹口，晶圆标识位于该晶圆凹口的正上方，所述确定晶圆标识的位置与晶圆标识读取器对准的方法为：晶圆旋转至凹口的位置对准晶圆标识读取器。