[发明专利]一种多晶硅铸锭炉及其坩埚有效
| 申请号： | 201210389622.9 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102912414A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 姜磊;荣丹丹;吕景记;魏文秀;杨杰 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉，包括设于炉腔内的顶部加热器和侧面加热器，还包括设于炉腔内的中心加热器，以便对坩埚内的中部硅料进行加热。由于在多晶硅铸锭炉的炉腔中部安装有中心加热器，在顶部加热器和侧面加热器加热的同时，中心加热器也同时加热，可以快速提高坩埚内硅料的温度，同时缩短了坩埚内外侧硅料到中部硅料热传递的距离，减少了热传递时间，避免了因加热时间过长造成的能量损失。此外，中心加热器的设置还可以减小坩埚内中部硅料和外侧硅料的温度差，保证多晶硅铸锭的质量。本发明还公开了一种用于上述多晶硅铸锭炉的坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 及其 坩埚 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉，包括设于炉腔内的顶部加热器和侧面加热器，其特征在于，还包括设于炉腔内的中心加热器，以便对坩埚内的中部硅料进行加热。
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