[发明专利]一种多晶硅铸锭炉及其坩埚

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，包括设于炉腔内的顶部加热器和侧面加热器，其特征在于，还包括设于炉腔内的中心加热器，以便对坩埚内的中部硅料进行加热。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述中心加热器通过电极头和中心铜电极固定在上炉体上，所述电极头的下端与所述中心加热器固接，且其上端穿过顶部隔热层并与所述中心铜电极的下端固接；所述中心铜电极固装在所述上炉体上，且其上端连接电缆；所述中心加热器的内壁设有测温计，用于将中部温区的温度反馈至可编程控制器；所述可编程控制器用于控制中心加热器的加热时间。

3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述电缆和所述中心铜电极的中心部分通纯水。

4.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述中心铜电极和所述电极头通过螺纹连接。

5.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述电极头通过石墨螺杆和石墨螺母与所述中心加热器固定连接。

6.如权利要求2至5任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述电极头与所述顶部隔热层之间设有陶瓷垫片。

7.如权利要求2至5任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述中心铜电极和所述上炉体之间设有绝缘层。

8.如权利要求2至5任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述中心加热器具有中空圆柱形结构。

9.一种用于多晶硅铸锭炉的坩埚，其特征在于，所述坩埚的中心部位设有通孔，用于放置所述多晶硅铸锭炉的中心加热器。