[发明专利]兼容BioFET的CMOS有效
| 申请号： | 201210382506.4 | 申请日： | 2012-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103091368A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 亚历克斯·卡尔尼茨基;刘怡劭;梁凯智;朱家骅;郑创仁;郑钧文 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/414;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种生物场效应晶体管(BioFET)和一种制作BioFET器件的方法。该方法包括使用与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容或者CMOS工艺特有的一个或者多个工艺步骤来形成BioFET。BioFET器件可以包括：衬底；栅极结构，设置于衬底的第一表面上；以及界面层，形成于衬底的第二表面上。界面层可以允许受体放置于界面层上以检测存在的生物分子或者生物实体。本发明还提供了兼容BioFET的CMOS。 | ||
| 搜索关键词： | 兼容 biofet cmos | ||
【主权项】：
一种BioFET器件，包括：衬底；栅极结构，设置于所述衬底的第一表面上；隔离层，设置于所述衬底的第二表面上，所述第二表面与所述第一表面相对，其中，所述隔离层包括开口；以及界面层，形成于所述开口中的所述衬底的所述第二表面上。
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