[发明专利]一种前开式晶片盒无效
| 申请号： | 201210380149.8 | 申请日： | 2012-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103715120A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 张爽;王继周;门恩国 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造设备中的晶片盒，具体地说是一种可自动防止晶片在设备移动过程中滑出的前开式晶片盒，包括片盒体、带电磁阀的回转气缸及挡杆，其中片盒体为半开放式结构，片盒体内设有多个容置晶片的插槽；所述回转气缸安装在片盒体上，挡杆与回转气缸的输出端相连，通过该回转气缸带动回转、阻挡晶片滑出。本发明结构简单，使用方便，满足安全、无污染的存储和运输晶片的要求，而且可以自动地实现在设备移动过程中防止晶片滑出，无需打开设备的门，保证了设备内的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 前开式 晶片 | ||
【主权项】：
一种前开式晶片盒，其特征在于：包括片盒体（1)、带电磁阀的回转气缸（2）及挡杆（5），其中片盒体（1）为半开放式结构，片盒体（1）内设有多个容置晶片（6）的插槽（3）；所述回转气缸（2）安装在片盒体（1）上，挡杆（5）与回转气缸（2）的输出端相连，通过该回转气缸（2）带动回转、阻挡晶片（6）滑出。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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