[发明专利]利用X射线衍射对晶体进行测试的方法有效
| 申请号： | 201210379597.6 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102879411A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 吴志猛;孙超;魏郝然;王伟明;宋红 | 申请（专利权）人： | 国电科技环保集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 杨娟奕 |
| 地址： | 100039 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种利用X射线衍射对晶体进行测试的方法，所述晶体包括单晶衬底、在单晶衬底上生长的至少一层晶格失配材料。所述方法先扫描出样品的倒易空间图，根据倒易空间图，计算出ω轴与2θ轴之间的运动速度比1∶n；然后对测试样品采用ω轴与2θ轴以1∶n的速度比联动的方式进行扫描，根据得到的扫描曲线，计算所述至少一层晶格失配材料的晶面间距。本方法与RSM相比，可以快速测量晶格失配材料的晶格常数，可以将速度提高20倍，而测量精度与RSM接近。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 射线 衍射 晶体 进行 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种利用X射线衍射对晶体进行测试的方法，所述晶体包括单晶衬底、在单晶衬底上生长的至少一层晶格失配材料，所述方法包括以下步骤：a)对于同批次生产的多个同种晶体样品进行测试时，对首个样品进行倒易空间图RSM扫描，根据扫描得到的RSM图，计算ω轴与2θ轴之间的运动速度比1∶n；b)对于其余每个样品，采用ω轴与2θ轴以1∶n的速度比联动的方式进行扫描，根据得到的扫描曲线，计算所述至少一层晶格失配材料的晶面间距。
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