[发明专利]用于将EUVL掩模电气耦接至支撑夹盘的导电元件

摘要

一种耦接模块可包括：上部部分，所述上部部分界定孔隙；掩模接触元件；夹盘接触元件；和中间元件，所述中间元件连接于所述掩模接触元件与所述上部部分之间。孔隙的形状和尺寸可对应于极紫外(EUVL)掩模的图案转移区域的形状和尺寸。耦接模块可经成形并经确定尺寸，使得一旦掩模接触元件接触EUVL掩模的上部部分，那么夹盘接触元件接触支撑所述掩模的夹盘。当EUVL掩模定位于夹盘上时，耦接模块可在EUVL掩模的上部部分与夹盘之间进一步提供至少一个导电路径。

主权项

一种用于将极紫外(EUVL)掩模耦接至夹盘的耦接模块，所述耦接模块包含：上部部分，所述上部部分界定孔隙；至少一个掩模接触元件；夹盘接触元件；和中间元件，所述中间元件连接于所述掩模接触元件与所述上部部分之间；其中所述孔隙的形状和尺寸对应于所述EUVL掩模的图案转移区域的形状和尺寸；其中所述耦接模块经成形并经确定尺寸，使得一旦所述至少一个掩模接触元件接触所述EUVL掩模的上部部分，那么所述夹盘接触元件接触支撑所述EUVL掩模的夹盘；和其中当所述EUVL掩模与所述耦接模块对准而定位于所述夹盘上时，所述耦接模块在所述EUVL掩模的所述上部部分与所述夹盘之间提供至少一个导电路径。