[发明专利]传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备在审
| 申请号： | 201210365289.8 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103033175A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 市川史生 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607;G01C19/5628;H01L41/113;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能简单且可靠发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备：基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸并通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241)，其从基部延伸并随着驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据施加于驱动用振动臂的物理量而输出信号；调节用电极(551、553)，其被设置在调节用振动臂(241)上，且与检测用电极电连接，并随振动臂(241)的振动而输出与检测用电极极性相反的电荷，调节用电极(551)具备：共用部(60)，其与检测用电极电连接；多个分支部(61)，其从共用部(60)分支且沿着调节用振动臂(241)的延伸方向而并排设置。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 及其 制造 方法 装置 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种传感器元件，其特征在于，具备：基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号，在所述振动臂上设置有电极，所述电极与所述检测用电极电连接，并且产生与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷极性相反的电荷，所述电极包括：共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。
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