[发明专利]激光退火装置及激光退火方法

摘要

本发明提供一种激光退火装置及激光退火方法。一般的脉冲波形从振荡开始时刻开始急剧上升，显示出峰值后缓慢降低。在功率显示峰值的时刻，退火对象物的表面被急剧加热而成为高温。由于显示峰值的时间为一瞬间，因此很难对退火对象物的较深区域进行充分的加热。本发明的激光退火装置，当输入脉冲电流时，从激光二极管射出激光脉冲。光学系统将从激光二极管射出的激光束导光至退火对象物。驱动器向激光二极管供给具有顶部平坦的时间波形且脉冲宽度为1μs～100μs的脉冲电流。

主权项

一种激光退火装置，其中，具有：激光二极管，当输入脉冲电流时，射出激光脉冲；光学系统，将从所述激光二极管射出的激光束导光至退火对象物；及驱动器，向所述激光二极管供给具有顶部平坦的时间波形且脉冲宽度为1μs～100μs的脉冲电流。