[发明专利]制备层状开放网络抛光垫的方法无效
| 申请号： | 201210356980.X | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103009275A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | H·拉克奥特 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的方法制备了层状开放网络抛光垫，所述抛光垫用于对磁性基材、半导体基材和光学基材中的至少一种进行抛光。使得可固化聚合物的第一和第二聚合物板或膜受能源作用，在所述第一和第二聚合物板中产生作用图案，所述作用图案具有受能源作用的拉长的部分。然后从受作用的第一和第二聚合物板去除聚合物，以形成通过第一和第二聚合物板的拉长的通道，该拉长的通道的通道图案对应于作用图案。拉长的通道延伸通过第一和第二聚合物的厚度。使得第一和第二聚合物板附着形成抛光垫，第一和第二聚合物板的图案交叉，其中第一聚合物板支撑第二聚合物板，而来自第一和第二聚合物板的拉长的通道连接并形成层状开放网络抛光垫。第一层表示用于附着到抛光平台的基底层。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 层状 开放 网络 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种制备层状开放网络抛光垫的方法，所述抛光垫用于对磁性基材、半导体基材和光学基材中的至少一种进行抛光，该方法包括：a)提供可固化聚合物的第一和第二聚合物板或膜，所述第一和第二聚合物板或膜具有厚度；b)使得第一和第二聚合物板受能源作用，在第一和第二聚合物板中产生作用图案，该作用图案具有受能源作用的拉长的部分；c)从受作用的第一和第二聚合物板去除聚合物，以形成通过第一和第二聚合物板的拉长的通道，该拉长的通道的通道图案对应于作用图案，拉长的通道延伸通过第一和第二聚合物的厚度；以及d)使得第一和第二聚合物板附着以形成抛光垫，第一和第二聚合物板的图案交叉，其中第一聚合物板支撑第二聚合物板，而来自第一和第二聚合物板的拉长的通道连接形成层状开放网络抛光垫，其中第一层形成用于附着到抛光平台的基底层。
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