[发明专利]用于至少三个工件的同时双面去除材料处理的方法有效
| 申请号： | 201210341971.3 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102990504A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | G·皮奇 | 申请（专利权）人： | 硅电子股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 苗征;于辉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在双面处理设备的旋转的上工作盘与旋转的下工作盘之间的至少三个工件的同时双面去除材料处理的方法，其中，所述工件以可自由移动的方式位于引导笼中各开口中，并在压力下由后者在两个工作盘之间形成的工作间隙中移动，其中，在达到所述工件的预先选择的目标厚度后，启动减速过程，在其过程中减小所述上工作盘、下工作盘和引导笼的所有驱动器i的角速度ωi(t)，直至两个工作盘与引导笼停止，其中，以如下方式来减小所有驱动器i的角速度ωi(t)：在此情况下，作为时间t的函数的所有角速度ωi(t)的彼此之间比率与达到预先选择的目标厚度的时刻的比率偏离不大于10%。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 至少 三个 工件 同时 双面 去除 材料 处理 方法 | ||
【主权项】：
用于在双面处理设备的旋转的上工作盘与旋转的下工作盘之间的至少三个工件的同时双面去除材料处理的方法，其中，所述工件以可自由移动的方式位于引导笼中各开口中，并在压力下由后者在两个工作盘之间形成的工作间隙中移动，其中，在达到所述工件的预先选择的目标厚度后，启动减速过程，在该过程中减小所述上工作盘、下工作盘和引导笼的所有驱动器i的角速度ωi(t)，直至两个工作盘与引导笼停止，其中，以如下方式来减小所有驱动器i的角速度ωi(t)：在减速阶段中，作为时间t的函数的所有角速度ωi(t)彼此之间的比率与达到预先选择的目标厚度的时刻的比率偏离不大于10%。
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