[发明专利]用于至少三个工件的同时双面去除材料处理的方法有效

专利信息
申请号: 201210341971.3 申请日: 2012-09-14
公开(公告)号: CN102990504A 公开(公告)日: 2013-03-27
发明(设计)人: G·皮奇 申请(专利权)人: 硅电子股份公司
主分类号: B24B37/08 分类号: B24B37/08
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 苗征;于辉
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 至少 三个 工件 同时 双面 去除 材料 处理 方法
【权利要求书】:

1.用于在双面处理设备的旋转的上工作盘与旋转的下工作盘之间的至少三个工件的同时双面去除材料处理的方法,其中,所述工件以可自由移动的方式位于引导笼中各开口中,并在压力下由后者在两个工作盘之间形成的工作间隙中移动,其中,在达到所述工件的预先选择的目标厚度后,启动减速过程,在该过程中减小所述上工作盘、下工作盘和引导笼的所有驱动器i的角速度ωi(t),直至两个工作盘与引导笼停止,其中,以如下方式来减小所有驱动器i的角速度ωi(t):在减速阶段中,作为时间t的函数的所有角速度ωi(t)彼此之间的比率与达到预先选择的目标厚度的时刻的比率偏离不大于10%。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,以如下方式来减小所有驱动器i的角速度ωi(t):在减速阶段中,作为时间t的函数的所有角速度ωi(t)彼此之间的比率与达到预先选择的目标厚度的时刻的比率偏离不大于5%。

3.根据权利要求1和2任意一项所述的方法,其中,所述工作盘是环形的,其中,同时使用了至少三个圆形引导笼,每个圆形引导笼都具有至少一个用于所述工件的切口,且各个切口都具有在所述引导笼的圆周上沿圆周伸展的齿,其中,所述齿啮合进外驱动环和内驱动环,它们在所有情况下都相对于所述工作盘的旋转轴同心设置,并且其中,两个驱动环构成所述引导笼的驱动器,借助所述驱动器,沿圆周移动所述引导笼,同时具有围绕所述工作盘的旋转轴的固有旋转,以使得所述工件相对于两个工作盘运行出摆线轨迹。

4.根据权利要求1和2任意一项所述的方法,其中所述工作盘是圆形的,准确地使用了一个引导笼,其覆盖所述工作盘的整个区域,并通过偏心地旋转设置在所述工作盘的圆周上的导轮来驱动以实现轨道运动,以使得在用于各个工件的静止参照系中,存在各自固定的区域,所述区域在任何时间都完全被所述工件覆盖。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的方法,其中,根据来减小各个驱动器i的角速度ωi(t),其中,ωi,0表示在减速过程开始时的角速度,Ji表示转动惯量,其中,Ji=∫ρi(τ)r2dτ,ρi(τ)表示密度分布,r表示与旋转轴的距离,ki表示驱动器i的减速能力,dτ表示包含驱动器i的旋转部分的体积τ的无穷小元素,t表示时间。

6.根据权利要求1至3任意一项所述的方法,其中,每单位时间的各个驱动器i的角速度ωi(t)的变化量在所述减速过程期间增大。

7.根据权利要求6所述的方法,其中,根据来减小各个驱动器i的角速度ωi(t),其中,ωi,0表示在减速过程开始时的角速度,Ji表示转动惯量,其中,Ji=∫ρi(τ)r2dτ,ρi(τ)表示密度分布,r表示与旋转轴的距离,ki表示驱动器i的减速能力,dτ表示包含驱动器i的旋转部分的体积τ的无穷小元素,t表示时间。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的方法,其中,所述减速过程的持续时间tbr由具有最大角动量Li=Jiωi,0的驱动器i来确定,其中,ωi,0表示在减速过程开始时的角速度,Ji=∫ρi(τ)r2dτ表示转动惯量,ρi(τ)表示密度分布,r表示与旋转轴的距离,dτ表示包含驱动器i的旋转部分的体积τ的无穷小元素,t表示时间。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的方法,其中,在所述减速过程中减小由所述两个工作盘施加在所述工件上的压力。

10.根据权利要求9所述的方法,其中,在所述减速过程结束时的压力大于零。

11.根据权利要求1至10任意一项所述的方法,其中,各个工作盘分别带有工作层,该工作层含有固定粘结的磨料,其通过与所述工件接触,从而通过磨削从所述工件去除材料。

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