[发明专利]MEMS麦克风的制造方法无效
| 申请号： | 201210339807.9 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102868964A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 王凯;陈虎 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声声学科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风的制造方法，该方法包括如下步骤：提供一线路板、控制电路芯片以及设有背腔的微机电芯片，将控制电路芯片与微机电芯片固定在所述线路板上；提供一设有外表面的外壳，所述外壳由绝缘材料制成，将外壳的外表面镀上金属化镀层；将镀有金属化镀层的外壳盖接在线路板上，外壳与线路板形成收容腔，并且控制电路芯片与微机电芯片位于所述收容腔中。本发明提供的MEMS麦克风能够避免绑定金线与外壳接触而出现的短路现象，从而达到提高产品性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风的制造方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：（1）提供一线路板、控制电路芯片以及设有背腔的微机电芯片，将控制电路芯片与微机电芯片固定在所述线路板上；（2）提供一设有外表面的外壳，所述外壳由绝缘材料制成，将外壳的外表面镀上金属化镀层；（3）将镀有金属化镀层的外壳盖接在线路板上，外壳与线路板形成收容腔，并且控制电路芯片与微机电芯片位于所述收容腔中。
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