[发明专利]大尺寸LTCC基板烧结工艺有效

专利信息
申请号: 201210332410.7 申请日: 2012-09-11
公开(公告)号: CN102863223A 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 濮嵩;贺彪;展丙章;杨述洪;车勤 申请(专利权)人: 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
主分类号: C04B35/64 分类号: C04B35/64
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215163 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于LTCC基板制造技术领域,通过对烧结曲线初始升温期、排胶期、升温期时间及升温速度的合理调整,将初始升温期、排胶期由原来的一阶设置更改为多段设置,得到一条合适的烧结曲线,应用于大尺寸LTCC基板的烧结,使大尺寸LTCC基板在烧结后的变形、翘曲、裂纹等现象完全消失。可大大提升大尺寸LTCC基板烧结后的成品率,对LTCC材料的应用发挥重要的作用。
搜索关键词: 尺寸 ltcc 烧结 工艺
【主权项】:
大尺寸LTCC基板烧结工艺,其特征在于:通过对烧结曲线初始升温期、排胶期、升温期时间及升温速度的调整,将初始升温期、排胶期由原来的一阶设置更改为多段设置,得到一条合适的烧结曲线,按照此烧结曲线进行大尺寸LTCC基板的烧结。
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