[发明专利]大尺寸LTCC基板烧结工艺有效
| 申请号: | 201210332410.7 | 申请日: | 2012-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN102863223A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
| 发明(设计)人: | 濮嵩;贺彪;展丙章;杨述洪;车勤 | 申请(专利权)人: | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号: | C04B35/64 | 分类号: | C04B35/64 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
| 地址: | 215163 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明属于LTCC基板制造技术领域,通过对烧结曲线初始升温期、排胶期、升温期时间及升温速度的合理调整,将初始升温期、排胶期由原来的一阶设置更改为多段设置,得到一条合适的烧结曲线,应用于大尺寸LTCC基板的烧结,使大尺寸LTCC基板在烧结后的变形、翘曲、裂纹等现象完全消失。可大大提升大尺寸LTCC基板烧结后的成品率,对LTCC材料的应用发挥重要的作用。 | ||
| 搜索关键词: | 尺寸 ltcc 烧结 工艺 | ||
【主权项】:
大尺寸LTCC基板烧结工艺,其特征在于:通过对烧结曲线初始升温期、排胶期、升温期时间及升温速度的调整,将初始升温期、排胶期由原来的一阶设置更改为多段设置,得到一条合适的烧结曲线,按照此烧结曲线进行大尺寸LTCC基板的烧结。
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