[发明专利]具有石墨烯晶体管的低噪声放大器有效
| 申请号： | 201210331572.9 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102868370A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 吕宏鸣;钱鹤;肖柯;吴华强;伍晓明 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H03F1/26 | 分类号： | H03F1/26;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有石墨烯晶体管的低噪声放大器，包括：石墨烯晶体管，其源极接地，栅极接偏置电压相连，漏极接工作电压；连接在漏极与工作电压之间的第一电感和第一电容；连接在源极与地端之间的第二电感和第二电容；以及输出端和输入端，其中，石墨烯晶体管进一步包括：衬底；过渡层；金属走线层；层间介质层；连接线；形成在层间介质层之上的源极、漏极和栅极，其中，源极、漏极和栅极包括形成在层间介质层之上的金属接触层，源极和漏极分别通过金属接触层与连接线相连；以及形成在栅极之上的栅极介质层和形成在源极、漏极和栅极之上的沟道层，其中，沟道层为石墨烯薄膜。本发明具有低噪声和稳定可靠的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 石墨 晶体管 低噪声放大器 | ||
【主权项】：
一种具有石墨烯晶体管的低噪声放大器，其特征在于，包括以下部分：石墨烯晶体管，所述石墨烯晶体管的源极与地端相连，栅极与偏置电压相连，漏极与工作电压相连；连接在所述漏极与所述工作电压之间的第一电感和第一电容，其中所述第一电感与所述第一电容并联；连接在所述源极与所述地端之间的第二电感和第二电容，其中所述第二电感与所述第二电容并联；位于所述漏极与所述第一电感和第一电容之间的输出端；以及位于所述源极与所述第二电感和第二电容之间的输入端，其中，所述石墨烯晶体管进一步包括：衬底；形成在所述衬底之上的过渡层；形成在所述过渡层之上的金属走线层和层间介质层，所述层间介质层填充在所述金属走线层之间；形成在所述层间介质层之上的连接线，其中，所述连接线的至少一部分与所述金属走线层相连；形成在所述层间介质层之上的源极、漏极和栅极，所述源极、漏极和栅极包括形成在所述层间介质层之上的金属接触层，其中，所述源极和漏极分别通过所述金属接触层与所述连接线相连；以及形成在所述栅极之上的栅极介质层和形成在所述源极、漏极和栅极之上的沟道层，其中，所述沟道层为石墨烯薄膜。
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