[发明专利]一种巨磁阻效应三轴加速度计无效
| 申请号： | 201210330126.6 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102841217A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;李孟委;李锡广;王莉;郑伦贵;苏树清 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种巨磁阻效应三轴加速度计，包括：键合基板；巨磁敏电阻和微加速度计，巨磁敏电阻设在键合基板上表面，且与各检测方向加速度计敏感质量块上表面的巨磁敏电阻位置对应；微加速度计设在键合基板上方并与键合基板相连接，其包括：敏感质量块，铁磁性薄膜和悬臂梁。根据本发明的三轴微机械加速度计采用整体结构设计，三种检测不同方向的加速度计集成制作于同一框体上，结构合理，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁阻 效应 加速度计 | ||
【主权项】：
一种三轴微机械加速度装置，其特性在于，包括：键合基板；巨磁敏电阻，所述巨磁敏电阻设在键合基板上表面，且与微加速度计各敏感质量块上表面的铁磁性薄膜位置对应，巨磁敏电阻利用巨磁敏电阻引出线引出并与巨磁敏电阻电极相连接；和微加速度计，所述微加速度计设在键合基板上方并与键合基板相连接，且微加速度计包括：敏感质量块，根据检测方向的不同敏感质量块分为三种，分别用以检测X、Y、Z三个轴向的加速度，三种轴向的加速度计的敏感质量块的形状、尺寸以及设置方向根据其检测方向的不同而有所不同；铁磁性薄膜，设所述铁磁性薄膜在敏感质量块上表面，所述铁磁性薄膜可随敏感质量块沿垂直于所述键合基板上表面的方向振动，悬臂梁，用于支撑微加速度计的敏感质量块，且用于支撑不同轴向加速度计敏感质量块的悬臂梁的形状及数量不同。
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