[发明专利]一种巨磁阻效应三轴加速度计

权利要求书

1.一种三轴微机械加速度装置，其特性在于，包括：

键合基板；

巨磁敏电阻，所述巨磁敏电阻设在键合基板上表面，且与微加速度计各敏感质量块上表面的铁磁性薄膜位置对应，巨磁敏电阻利用巨磁敏电阻引出线引出并与巨磁敏电阻电极相连接；

和微加速度计，所述微加速度计设在键合基板上方并与键合基板相连接，且微加速度计包括：敏感质量块，根据检测方向的不同敏感质量块分为三种，分别用以检测X、Y、Z三个轴向的加速度，三种轴向的加速度计的敏感质量块的形状、尺寸以及设置方向根据其检测方向的不同而有所不同；铁磁性薄膜，设所述铁磁性薄膜在敏感质量块上表面，所述铁磁性薄膜可随敏感质量块沿垂直于所述键合基板上表面的方向振动，悬臂梁，用于支撑微加速度计的敏感质量块，且用于支撑不同轴向加速度计敏感质量块的悬臂梁的形状及数量不同。

2.根据权利要求1所述的三轴微机械加速度计装置，其特征在于，所述的键合基板较微加速度计面积大，上表面设有巨磁敏电阻及其引出线和电极，并且键合基板用以承载微加速度计，加速度计设置于键合基板的中心位置。

3.根据权利要求1所述的三轴微机械加速度计装置，其特征在于，所述的巨磁敏电阻有多个，分别置于不同检测方向敏感质量块的下方，且与敏感质量块上表面的铁磁性薄膜位置对应；巨磁敏电阻采用形，以增大有效长度；巨磁敏电阻通过巨磁敏电阻引出线引出，与巨磁敏电阻电极相连。

4.根据权利要求1所述的三轴微机械加速度计装置，其特征在于，所述的巨磁敏电阻包括在半导体材料衬底层上依次排布的绝缘层、钽层、镍铁层、铜层、钴层、锰层和钽层。

5.根据权利要求1所述的三轴微机械加速度计装置，其特征在于，所述的微加速度计还包括微加速度计框体，所述的微加速度计框体为整体结构，其上设有分别能检测X、Y、Z三个轴向的三种加速度计，通过悬臂梁与各加速度计的敏感质量块连接；所述的悬臂梁用以连接敏感质量块和微加速度计框体。

6.根据权利要求5所述的三轴微机械加速度计装置，其特征在于，所述的敏感质量块根据检测方向的不同而有所不同：用以检测Z轴方向的加速度计敏感质量块上表面呈方形，用以检测X轴向和Y轴向的加速度计敏感质量块的上表面呈矩形，且根据检测方向的不同敏感质量块的设置方向不同，检测X轴向的加速度计敏感质量块X向长度小于Y向长度，检测Y轴向的加速度计敏感质量块Y向长度小于X向长度。

7.根据权利要求1所述的三轴微机械加速度计装置，其特征在于，所述的悬臂梁根据加速度计检测方向的不同而设置的尺寸及方向有所不同：用以连接检测Z轴方向的加速度计敏感质量块的悬臂梁厚度远小于宽度保证其在Z轴方向的刚度远小于其它两个方向，且Z轴向加速度计敏感质量块的前、后、左、右四边都设有悬臂梁；用以连接检测X轴向和检测Y轴向的加速度计敏感质量块的悬臂梁厚度远大于其宽度，检测X轴向的加速度计悬臂梁X向长度远小于Y向长度，且只设于敏感质量块的前、后侧，检测Y轴向的加速度计悬臂梁Y向长度远小于X向长度，且只设于敏感质量块的左、右侧。

8.根据权利要求1所述的三轴微机械加速度计装置，其特征在于，所述的铁磁性薄膜包括在半导体材料衬底层上依次排布的二氧化硅层、二氧化钛层、铂层、铁酸钴层和铁酸铋层。