[发明专利]磨削装置

摘要

本发明提供一种磨削装置，其装备有清洗卡盘工作台保持面的卡盘工作台保持面清洗机构而装置整体不会大型化。磨削装置具备卡盘工作台、磨削构件、卡盘工作台定位构件以及卡盘工作台清洗机构，卡盘工作台清洗机构具备：平坦化工具，其装配于与卡盘工作台的保持面垂直的旋转轴并与保持面抵接以使保持面平坦化；清洗液喷嘴，其向保持面供给清洗液；清洗定位构件，其使平坦化工具及清洗液喷嘴在与保持面垂直的方向移动以定位于清洗位置和退避位置；以及水滴接收构件，其构成为能够定位于水滴接收位置和退避位置，所述水滴接收位置是在平坦化工具的下侧接收从平坦化工具滴落的水滴的位置，所述退避位置是容许平坦化工具向清洗位置移动的位置。

主权项

一种磨削装置，所述磨削装置具备：卡盘工作台，所述卡盘工作台具有用于保持被加工物的保持面；磨削构件，所述磨削构件配设在磨削区域，用于对由所述卡盘工作台保持的被加工物进行磨削；卡盘工作台定位构件，所述卡盘工作台定位构件用于将所述卡盘工作台定位于所述磨削区域和供被加工物搬入及搬出的搬入和搬出区域；以及卡盘工作台清洗机构，所述卡盘工作台清洗机构用于对定位于所述搬入和搬出区域的卡盘工作台的保持面进行清洗，所述磨削装置的特征在于，所述卡盘工作台清洗机构具备：平坦化工具，所述平坦化工具装配于旋转轴并与所述卡盘工作台的保持面抵接以使所述保持面平坦化，所述旋转轴与定位在所述搬入和搬出区域的卡盘工作台的保持面垂直；清洗液喷嘴，所述清洗液喷嘴用于向定位于所述搬入和搬出区域的卡盘工作台的保持面供给清洗液；清洗定位构件，所述清洗定位构件用于使所述平坦化工具及所述清洗液喷嘴在与卡盘工作台的保持面垂直的方向移动，以将所述平坦化工具及所述清洗液喷嘴定位于清洗位置和退避位置；以及水滴接收构件，所述水滴接收构件构成为能够定位于水滴接收位置和退避位置，所述水滴接收位置是在所述平坦化工具的下侧接收从所述平坦化工具滴落的水滴的位置，所述退避位置是容许所述平坦化工具向所述清洗位置移动的位置。