[发明专利]一种提高激光划刻透明导电氧化物薄膜绝缘性能的方法

摘要

本发明涉及一种提高激光划刻透明导电氧化物薄膜绝缘性能的方法，属于薄膜太阳能电池技术领域。本发明包括如下工艺步骤：（1）利用磁控溅射配合湿法刻蚀的技术制备绒面透明导电氧化物薄膜；（2）采用波长为355nm的激光器对绒面透明导电氧化物薄膜进行绝缘划线；（3）将经过激光划线的绒面透明导电氧化物薄膜进行退火处理，获得具有优良绝缘性能的激光划线。本方法与现有的薄膜太阳能电池的生产工艺兼容，采用薄膜太阳能电池生产线常用的355nm激光器可成功划刻氧化物薄膜，提升划刻质量，降低生产成本；激光划刻形貌好，绝缘性能符合生产工艺需求；工艺操作简单；本发明适用于硅基系列薄膜电池、碲化镉系列薄膜电池等。

主权项

一种提高激光划刻透明导电氧化物薄膜绝缘性能的方法，其特征在于包括以下步骤：利用磁控溅射配合湿法刻蚀的技术制备绒面透明导电氧化物薄膜；采用波长为355nm或1064nm的激光器对所述绒面透明导电氧化物薄膜进行绝缘划线；将经过激光划线的绒面透明导电氧化物薄膜进行退火处理即可。