[发明专利]太阳能电池片的生产工艺

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片的生产工艺，该方法包括一次清洗工序、扩散工序、刻蚀工序、二次清洗工序、PEVCD工序、丝网印刷工序和测试分选工序。本发明不仅能够提高太阳能电池片的转换效率和功率等性能，而且降低了生产成本，具有优越的整体经济效益。

主权项

太阳能电池片的生产工艺，其特征在于：该方法具体包括以下工序：a、一次清洗工序；将硅片先进行制绒，再进行去金属离子，最后将硅片进行去硅面表面的氧化物；b、扩散工序；将一次清洗工序后的硅片移至石英舟槽内，用舟叉将石英舟槽端至碳化硅桨上进行扩散；c、刻蚀工序；将多块扩散工序后的硅片成一组装入刻蚀夹具上，再将刻蚀夹具放入刻蚀机中进行刻蚀；d、二次清洗工序；将刻蚀工序完的硅片进行表面去磷清洗，再用去离子水对硅片进行漂洗；e、PEVCD工序；将二次清洗工序后的硅片放入石墨舟中，将石墨舟送入PECVD镀膜设备的加工腔中进行镀膜；f、丝网印刷工序；将PEVCD工序后的硅片放入硅片印刷机上进行丝网印刷，进行丝网印刷是先进行背电极印刷，然后烘干，烘干后对硅片进行背电场印刷，再烘干，接着进行正电极印刷，最后将硅片送入烧结炉中进行烧结；g、测试分选工序；将丝网印刷工序后的硅片进行性能测试，并对测试后的硅片分选成多个等级。