[发明专利]用于参考式测量反射的光的设备和校准这样的设备的方法有效
| 申请号： | 201210294873.9 | 申请日： | 2012-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN102854168B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | J·马格拉夫;P·拉姆帕特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司光谱有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于参考式测量反射的光的设备和方法以及一种校准这样的设备的方法，其中，为了能够实现较为准确的校准，按照本发明，设备(1)能够从测量位置转换到校准位置，其中光射出孔(17)在测量位置位于第一检测轴线(A)上，在校准位置位于第二检测轴线(B)上。另外的可选方案是，包括光射出孔(17)和光接收器(4、5)的中空体(3)为把设备(1)从测量位置转换到校准位置而围绕一个与第一检测轴线(A)不同的轴线(Q)可转动地被支承，其中，第一光接收器(4)定向设置用于在两个位置接收通过光射出孔(17)进入中空体(3)内的光，第二光接收器(5)定向设置用于在两个位置接收由层(15)散射的光。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 参考 测量 反射 设备 校准 这样 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量在试样(X)上反射的光的设备(1)，包括：‑中空体(3)，它具有用于照明试样(X)的光射出孔(17)和在其内部的扩散的散射层(15)；‑光源(6)，用于照明所述散射层(15)；‑第一光接收器(4)，其沿第一检测轴线(A)对准；和‑第二光接收器(5)，其沿第二检测轴线(B)对准，其中，设备(1)可从测量位置向校准位置转换，其特征在于，所述光射出孔(17)在测量位置位于第一检测轴线(A)上，而同时并不位于第二检测轴线(B)上，在校准位置则位于第二检测轴线(B)上，而同时并不位于第一检测轴线(A)上。
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