[发明专利]光学无色差聚焦系统有效
| 申请号： | 201210281504.6 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103575230A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李国光;吴文镜;王林梓;刘健鹏;刘涛;赵江艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/21;G02B17/06 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼-特纳结构。本发明提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 色差 聚焦 系统 | ||
【主权项】：
一种光学无色差聚焦系统，其特征在于，包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及平面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；所述平面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第二曲面反射元件，接收由所述平面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、平面反射元件及第二曲面反射元件构成交叉切尔尼‑特纳结构。
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