[发明专利]光学无色差聚焦系统有效
| 申请号： | 201210281504.6 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103575230A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李国光;吴文镜;王林梓;刘健鹏;刘涛;赵江艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/21;G02B17/06 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 色差 聚焦 系统 | ||
1.一种光学无色差聚焦系统，其特征在于，包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及平面反射元件；
所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；
所述平面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；
所述第二曲面反射元件，接收由所述平面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；
所述第一曲面反射元件、平面反射元件及第二曲面反射元件构成交叉切尔尼-特纳结构。
2.根据权利要求1所述的光学无色差聚焦系统，其特征在于：
所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件具有相同的镀膜参数、光学参数以及曲率半径。
3.根据权利要求1所述的光学无色差聚焦系统，其特征在于：
所述第一曲面反射元件和所述第二曲面反射元件关于第二曲面反射元件的中心法线对称。
4.根据权利要求1所述的光学无色差聚焦系统，其特征在于：
光束在所述第一曲面反射元件，所述平面反射元件，所述第二曲面反射元件之间传播时，其主光始终处于同一平面内。
5.根据权利要求1所述的光学无色差聚焦系统，其特征在于：
入射光束的主光在所述第一曲面反射元件和所述第二曲面反射元件上的入射角范围为5-20度。
6.根据权利要求1所述的光学无色差聚焦系统，其特征在于：
光束在第一曲面反射元件上的入射角和第二曲面反射元件上的入射角相等。
7.根据权利要求1所述的光学无色差聚焦系统，其特征在于：
由所述光学无色差聚焦系统反射后，所述会聚光束的主光方向与所述点光源发射出的光束的主光方向的夹角为70-110度。
8.根据权利要求1-7任一项所述的光学无色差聚焦系统，其特征在于：
所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件为球面反射镜。
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