[发明专利]膜厚测量装置

摘要

本发明是一种膜厚测量装置(100)，该膜厚测量装置(100)具备:光源(10)、第一光路、第一聚光透镜、分光测量部(40)、第二光路、第二聚光透镜、以及数据处理部(50)。光源照射具有规定的波长范围的测量光。第一光路将从光源(10)照射的测量光引导到被测量物。第一聚光透镜将从第一光路射出的测量光汇聚到被测量物。分光测量部(40)获取反射率或者透射率的波长分布特性。第二光路将由被测量物反射的光或者透过被测量物的光引导到分光测量部。第二聚光透镜聚光到第二光路的端部。数据处理部(50)通过分析由分光测量部(40)获取的波长分布特性来求出被测量物的膜厚。

主权项

一种膜厚测量装置，其具备：光源(10)，其向在基板上至少形成一层膜而得到的被测量物照射具有规定的波长范围的测量光；至少一个第一光路，其将从上述光源(10)照射的上述测量光引导到上述被测量物；第一聚光透镜(31)，其将从上述第一光路射出的上述测量光聚光到上述被测量物；分光测量部(40)，其根据由上述第一聚光透镜聚光的上述测量光中的由上述被测量物反射的光或者透过上述被测量物的光来获取反射率或者透射率的波长分布特性；至少一个第二光路，其将由上述被测量物反射的光或者透过上述被测量物的光引导到上述分光测量部(40)；第二聚光透镜，其将由上述被测量物反射的光或者透过上述被测量物的光聚光到上述第二光路的端部；以及数据处理部(50)，其通过分析由上述分光测量部(40)获取的上述波长分布特性，来求出上述被测量物的膜厚。