[发明专利]膜厚测量装置

权利要求书

1.一种膜厚测量装置，其具备：

光源(10)，其向在基板上至少形成一层膜而得到的被测量物照射具有规定的波长范围的测量光；

至少一个第一光路，其将从上述光源(10)照射的上述测量光引导到上述被测量物；

第一聚光透镜(31)，其将从上述第一光路射出的上述测量光聚光到上述被测量物；

分光测量部(40)，其根据由上述第一聚光透镜聚光的上述测量光中的由上述被测量物反射的光或者透过上述被测量物的光来获取反射率或者透射率的波长分布特性；

至少一个第二光路，其将由上述被测量物反射的光或者透过上述被测量物的光引导到上述分光测量部(40)；

第二聚光透镜，其将由上述被测量物反射的光或者透过上述被测量物的光聚光到上述第二光路的端部；以及

数据处理部(50)，其通过分析由上述分光测量部(40)获取的上述波长分布特性，来求出上述被测量物的膜厚。

2.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，

上述第一光路以及上述第二光路是单模光纤(20)。

3.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，

上述第一光路和上述第二光路是以在上述被测量物侧的光轴方向相互平行的方式来形成的Y型光纤(20)，

上述第一聚光透镜以及上述第二聚光透镜是由一个透镜(31)构成的聚光光学探头(30)。

4.根据权利要求3所述的膜厚测量装置，其特征在于，

上述Y型光纤(20)构成为：在上述被测量物侧，多个上述第一光路配置在上述第二光路的周围。

5.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，

上述光源(10)将非相干光作为上述测量光来进行照射。

6.根据权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，

上述分光测量部(40)能够在红外频带的波长范围内获取反射率或者透射率的上述波长分布特性。