[发明专利]包括晶片级无机电介质和有机滤色器的混合的光学传感器器件

摘要

本文中描述了单片光学传感器器件和用于制造这些器件的方法。在实施例中，一种半导体晶片衬底包括多个光电检测器（PD）区域。晶片级无机电介质滤光器被沉积并由此形成在多个PD区域的至少子集上。一个或多个晶片级有机滤色器被沉积并由此形成在位于选定PD区域之上的晶片级无机电介质滤光器的一个或多个选定部分上。例如，有机红过滤器、有机绿过滤器以及有机蓝过滤器可分别位于处在第一、第二和第三PD区域之上的晶片级无机电介质滤光器的部分之上。

主权项

一种用于制造单片光学传感器器件的方法，包括：(a)在半导体晶片衬底中的多个光电检测器（PD）区域之上沉积并由此形成一个或多个金属间电介质（IMD）层；(b)在位于所述多个PD区域的至少子集之上的最上方的所述IMD层的至少一部分上沉积并由此形成晶片级无机电介质滤光器；以及(c)在位于选定PD区域之上的所述晶片级无机电介质滤光器的一个或多个选定部分上沉积并由此形成一个或多个晶片级有机滤色器。